Àkópọ̀ Àwọn Alátakò Fọ́tò
Photoresist, tí a tún mọ̀ sí photoresist, tọ́ka sí ohun èlò fíìmù tín-ín-rín tí agbára rẹ̀ máa ń yípadà nígbà tí a bá fi ìmọ́lẹ̀ UV, àwọn ìtànṣán elektroni, àwọn ìtànṣán ion, àwọn ìtànṣán X, tàbí ìtànṣán mìíràn hàn.
Ó ní resini, photoinitiator, solvent kan, monomer, àti àwọn afikún mìíràn (wo Táblì 1). Resini photoresist àti photoinitiator ni àwọn èròjà pàtàkì jùlọ tí ó ní ipa lórí iṣẹ́ photoresist. A ń lò ó gẹ́gẹ́ bí ìbòrí tí ó lòdì sí ìbàjẹ́ nígbà iṣẹ́ photolithography.
Nígbà tí a bá ń ṣe àgbékalẹ̀ àwọn ojú ibi semiconductor, lílo photoresist tí ó yẹ láti yan lè ṣẹ̀dá àwòrán tí a fẹ́ lórí ojú ibi náà.
Tábìlì 1.
| Àwọn Èròjà Fọ́tòrísítì | Iṣẹ́ |
| Ohun èlò ìpara | Ó ń mú kí photoresist jẹ́ omi àti oníyípadà, kò sì ní ipa kankan lórí àwọn ànímọ́ kẹ́míkà ti photoresist. |
| Olùdásílẹ̀ fọ́tò | A tun mọ ọ gẹgẹbi ohun elo fọto tabi ohun elo fọto, o jẹ apakan ti o ni ifaramọ fọto ninu ohun elo photoresist. O jẹ iru adalu kan ti o le yo kuro si awọn radicals ọfẹ tabi awọn cations ki o si bẹrẹ awọn iṣe-ọna asopọ kemikali ninu awọn monomers lẹhin gbigba ultraviolet tabi agbara ina ti a le rii ti gigun kan. |
| Rísínì | Ó jẹ́ àwọn polima aláìlágbára, ó sì ń ṣiṣẹ́ gẹ́gẹ́ bí àwọn ohun ìsopọ̀ láti so àwọn ohun èlò tó yàtọ̀ síra nínú photoresist pọ̀, èyí tó fún photoresist ní àwọn ànímọ́ ẹ̀rọ àti kẹ́míkà rẹ̀. |
| Monomer | A tun mọ ọ gẹgẹbi awọn ohun ti n ṣakopọ ti nṣiṣe lọwọ, wọn jẹ awọn molikula kekere ti o ni awọn ẹgbẹ iṣẹ-ṣiṣe ti o ṣee ṣe polymerizable ati pe wọn jẹ awọn agbo-ara iwuwo molikula kekere ti o le kopa ninu awọn iṣe polymerization lati ṣẹda awọn resin iwuwo molikula giga. |
| Àfikún | A nlo lati ṣakoso awọn ohun-ini kemikali pato ti awọn oniṣan fọto. |
A pín àwọn awòrán oníṣẹ́dá sí oríṣi méjì pàtàkì ní ìbámu pẹ̀lú àwòrán tí wọ́n ṣẹ̀dá: rere àti odi. Nígbà tí a bá ń lo awòrán oníṣẹ́dá, lẹ́yìn tí a bá ti fi ara hàn àti ìdàgbàsókè, àwọn apá tí a ti fi ara hàn nínú awòrán náà yóò yọ́, wọn yóò sì fi àwọn apá tí kò tíì fi ara hàn sílẹ̀. A kà a sí awòrán oníṣẹ́dá oníṣẹ́dá oníṣẹ́dá oníṣẹ́dá. Tí àwọn apá tí a ti fi ara hàn bá ṣì wà nígbà tí àwọn apá tí kò tíì fi ara hàn bá yọ́, a kà a sí awòrán oníṣẹ́dá ...
A maa n lo Photoresist ni pataki ninu sisẹ awọn ilana ti o ni awọn awọ ti o dara julọ ninu awọn panẹli ifihan, awọn iyika ti a ti sopọ mọ, ati awọn ẹrọ semiconductor ti o yatọ. Imọ-ẹrọ iṣelọpọ ti o wa lẹhin photoresist jẹ eka, pẹlu ọpọlọpọ awọn iru ọja ati awọn alaye ni pato. Iṣelọpọ iyika ti ile-iṣẹ itanna n fi awọn ibeere to lagbara le awọn photoresist ti a lo.
Ever Ray, olùpèsè tí ó ní ìrírí ogún ọdún nínú iṣẹ́ ṣíṣe àti ìdàgbàsókè àwọn resini tí a lè tọ́jú, ní agbára ìṣelọ́pọ́ ọdọọdún ti 20,000 tọ́ọ̀nù, ìlà ọjà tí ó kún rẹ́rẹ́, àti agbára láti ṣe àtúnṣe àwọn ọjà. Nínú photoresist, Ever Ray ní resini 17501 gẹ́gẹ́ bí ohun pàtàkì.
